Die Speziallabore der Mikrosystemtechnik verfügen über eine hervorragende Ausstattung und bilden Aufbauten und Prozesse aus der Industrie ab. Aus Kooperationen mit der Industrie und anderen Forschungseinrichtungen ergeben sich zahlreiche Projekte, die von Studierenden bearbeitet werden. Dafür stehen umfangreiche Hard- und Software für den Entwurf und die Konstruktion von Mikrosystemen bereit. Zeitgemäß ausgestattete Testlabore erlauben es, Prototypen und Funktionsmuster herzustellen und zu analysieren. Versuche und Geräte sind so ausgewählt, dass die Zusammenhänge aus den Vorlesungen im Experiment überprüft und vertieft werden können. Daneben werden die Studierenden in den Umgang mit modernen Analysegeräten eingewiesen.

In den ersten Semestern dominieren Laborübungen mit vorgegebenen Versuchen. Sie dienen dazu, mikrosystemtechnische Komponenten wie Sensoren, Schaltungen und Aktoren kennen zu lernen. Auch ihre Herstellung wird zum Beispiel im Reinraumlabor demonstriert und geübt. Im fachspezifischen Studium rückt die praktische Arbeit in den Mittelpunkt der Ausbildung. Die Studierenden wirken in unterschiedlichen Laborprojekten mit. Durch das breite Angebot, vom Entwurf über die Mikrotechnologie bis zum Prüfen, werden in dieser Zeit oft die Weichen für das spätere Berufsleben gestellt.