Forschung

Mikrosensorik

Sensoren und Messtechnik sind die Schlüsseltechnologien unserer modernen Gesellschaft und unterstützen die Lösungen der Herausforderungen unserer Zeit. Die Forschung auf dem Gebiet ist anwendungsorientiert ausgerichtet und wendet sich praktischen Problemstellungen der Industrie zu.

Ausgewählte Projekte

Kooperation

Technologie

Mit zunehmender Bedeutung der Mikrosystemtechnik wächst auch der Bedarf an vielseitig einsetzbaren Herstellungsverfahren, mit welchen sich langlebige und leistungsstarke mikromechanische, -optische oder -fluidische Systemkomponenten kostengünstig, präzise und reproduzierbar fertigen lassen. Zur Erweiterung der Möglichkeiten der bisher hauptsächlich eingesetzten Verfahren des Surface-Micromachining und des Bulk-Micromachining werden als Hauptziel neue Herstellungsverfahren entwickelt. Das Anwendungspotential der entwickelten Verfahren wird an grundlegenden hochminiaturisierten multifunktionalen intelligenten Mikrosystemen demonstriert.

Ausgewählte Projekte

Technische Mechanik

Zu einem gewissen Teil bestehen elektrische Systeme immer auch aus mechanischen Komponenten. Dazu zählen beispielsweise Gehäuse, Verdrahtungen, Isolationen, Leiterplatten, Substrate, Displays, Halterungen, Kühlkörper und Motoren sowie Schraub-, Klebe- Steck- und Lötverbindungen. Im Bereich der technischen Mechanik beschäftigen wir uns u.a. mit dem Entwurf und der konstruktiven Auslegung dieser Komponenten.

Mikroelektronik

Elektronische Komponenten und Systeme im Automobil haben in den letzten Jahren stetig an Bedeutung zugenommen und ihr Anteil steigt immer weiter an. Damit diese Komponenten und Systeme mit der Umwelt kommunizieren können, braucht es Bussysteme und Schnittstellen. Die Entwicklung und Optimierung solcher Schnittstellen ist eines der Schwerpunkte.

Finite-Elemente-Methode (FEM)

Die Entwicklung und der Einsatz moderner mikroelektromechanischer Sensoren und Systeme macht es erforderlich, verschiedenste physikalische Zusammenhänge mathematisch zu beschreiben. Dabei kommt die Finite-Elemente-Methode (FEM) zum Einsatz. Der Schwerpunkt unserer Forschung liegt in der Entwicklung neuer Berechnungsmodelle, mit deren Hilfe sich aktuelle Fragen in Bezug auf die Herstellung, die Funktion, die Anwendung und die Zuverlässigkeit derartiger Sensoren und Systeme beantworten lassen.

Optik

Kleinste optisch wirksame Bauelemente sind wichtige Komponenten in Sensoren und Mikrosystemen, die Lichtsignale manipulieren oder verarbeiten sollen. Diese Bauelemente erfordern häufig Freiformoberflächen mit Genauigkeiten und
Rauigkeiten im nm-Bereich. Strukturen in Oberflächen zur Lichtmanipulation sind immer von Größenordnungen im Bereich der Lichtwellenlänge und kleiner. Beispiele dafür sind Linsensysteme in Handy-Kameras, Beugungsgitter in
kleinen Spektrometern, sogenannte Light-Trapping-Strukturen für LED oder Photodetektoren oder photonische Kristalle.

Forschungsmanagement

Weitere Informationen zur Forschung des Fachbereichs Ingenieurwissenschaften - Energie und Information.