Mikrotechnologie, -mechanik und -elektronik sind Aspekte des Fachgebietes Mikrosystemtechnik an der HTW Berlin. Hier werden zusammen mit Partnern aus Forschung und Wirtschaft Methoden, Technologien und Anwendungen zur weiteren Miniaturisierung, zum Realisieren und Integration von 3D-Mikrosystemen und Verbesserung von Sensoren und Sensorsystemen geforscht. Die Forschung ist anwendungsorientiert ausgerichtet und wendet sich praktischen Problemstellungen zu.

Mikrosensorik

Sensoren und Messtechnik sind die Schlüsseltechnologien unserer modernen Gesellschaft und unterstützen die Lösungen der Herausforderungen unserer Zeit. Die Forschung auf dem Gebiet ist anwendungsorientiert ausgerichtet und sich praktischen Problemstellungen der Industrie zuwenden.
Zu den Projekten

Technologie

Mit zunehmender Bedeutung der Mikrosystemtechnik wächst auch der Bedarf an vielseitig einsetzbaren Herstellungsverfahren, mit welchen sich langlebige und leistungsstarke mikromechanische, -optische oder -fluidische Systemkomponenten kostengünstig, präzise und reproduzierbar fertigen lassen. Zur Erweiterung der Möglichkeiten der bisher hauptsächlich eingesetzten Verfahren des Surface-Micromachining und des Bulk-Micromachining werden als Hauptziel neue Herstellungsverfahren entwickelt. Das Anwendungspotential der entwickelten Verfahren wird an grundlegenden hoch-miniaturisierten multifunktionalen intelligenten Mikrosystemen demonstriert.
Zu den Projekten

Mikroelektronik

Elektronische Komponenten und Systeme im Automobil haben in den letzten Jahren stetig an Bedeutung zugenommen und ihr Anteil steigt immer weiter an. Zur Kommunikation zwischen diesen Komponenten und Systemen und der Umwelt bedarf es an Bussystemen und Schnittstellen. Die Entwicklung und Optimierung solcher Schnittstellen ist eines der Schwerpunkte.

Technische Mechanik

Zu einem gewissen Teil bestehen elektrische Systeme immer auch aus mechanischen Komponenten. Dazu zählen beispielsweise Gehäuse, Verdrahtungen, Isolationen, Leiterplatten, Substrate, Displays, Halterungen, Kühlkörper und Motoren sowie Schraub-, Klebe- Steck- und Lötverbindungen. Im Bereich der Technischen Mechanik beschäftigen wir uns unter anderem mit dem Entwurf und der konstruktiven Auslegung dieser Komponenten.

Finite-Elemente-Methode (FEM)

Die Entwicklung und der Einsatz moderner mikroelektromechanischer Sensoren und Systeme macht es erforderlich, verschiedenste physikalische Zusammenhänge mathematisch zu beschreiben. Dabei kommt die Finite-Elemente-Methode (FEM) zum Einsatz. Der Schwerpunkt unserer Forschung liegt in der Entwicklung neuer Berechnungsmodelle, mit deren Hilfe sich aktuelle Fragen in Bezug auf die Herstellung, die Funktion, die Anwendung und die Zuverlässigkeit derartiger Sensoren und Systeme beantworten lassen.

Optik

Kleinste optisch-wirksame Bauelemente sind wichtige Komponenten in Sensoren
und Mikrosystemen, die Lichtsignale manipulieren oder verarbeiten sollen.
Diese Baulemente erfordern häufig Freiformoberflächen mit Genauigkeiten und
Rauigkeiten im nm-Bereich. Strukturen in Oberflächen zur Lichtmanipulation
sind immer von Größenordnungen im Bereich der Lichtwellenlänge und kleiner.
Beispiele dafür sind Linsensysteme in Handy-Kameras, Beugungsgitter in
kleinen Spektrometern, sogenannte "light trapping" Strukturen für LED oder
Photodetektoren oder photonische Kristalle.