Technologie
3D-MEMS
Mit zunehmender Bedeutung der Mikrosystemtechnik wächst auch der Bedarf an vielseitig einsetzbaren Herstellungsverfahren, mit welchen sich langlebige und leistungsstarke mikromechanische, -optische oder -fluidische Systemkomponenten kostengünstig, präzise und reproduzierbar fertigen lassen. Das Anwendungspotential der entwickelten Verfahren wird an grundlegenden hoch-miniaturisierten multifunktionalen intelligenten Mikrosystemen (3dimensional integrierte mikroelektronischen, mechanischen und optischen Bauelementen) demonstriert. Wir arbeiten hier eng mit dem Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM und der Lithoglas GmbH zusammen.
Gedruckte Elektronik
Additive Formgebungsverfahren (z.B 2D Inkjeting, Laserstrahlschmelzen, 3D Stereolithographie) besitzen für mikrotechnische Produkte ein hohes Innovationspotenzial bezüglich des Designs, der verfahrensseitigen Umsetzung und der Möglichkeit, neuartige Verbund- und Gradientenwerkstoffe herzustellen. Im Forschungsstadium ist bereits nachgewiesen, dass alle gängigen RP-Verfahren für Mikrostrukturen umsetzbar sind, so dass zukünftig auch eine industrielle Anwendung generativer Verfahren zur Herstellung komplexer Mikrosystemen und Bauteilen zu erwarten ist.