Reinraumlabor
Adresse
Campus Wilhelminenhof | Gebäude G | Raum 627
Profil
- Lithographie (UV)
- Dünnfilmtechnologie
- PVD
- RIE
- Bulk Micromachining (KOH)
- Wafer Bonden (anodisch)
- Aditive Manufacturing
- Messtechnik